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饶钦辉 先生
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发布时间:2022-01-23 00:06:20
真空泵油的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶液造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
极低的蒸气压
这是真空泵油的重要的性能,由于真空泵要求真空度很高,一般用石蜡基窄馏分润滑油,对于扩散真空泵,还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。
良好的抗腐蚀性和抗乳化性
真空泵吸入的如果是腐蚀性气体,会与油发生化学反应,腐蚀泵内零件;吸入空气中往往含有水汽冷凝水,引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀,所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。
较高的闪点
主要要求真空泵中不携带轻质组分,以免影响油品的饱和蒸气压。
普旭真空泵油雾过滤器简介:普旭真空泵油雾过滤器是一种为了真空泵能发挥它良好效果而辅助使用的工具,这种产品就是为了弥补真空泵不足而设计的,所以它也不能单独使用,所以它一定要与真空泵合作,才能有双重性效果,它要辅助真空泵有效工作,减少废气,营造好的工作环境,帮助真空泵能正常运行。而且它本身就有很好的使用性能以及效果,可以提供很好的自动水洗与反吹的***,对在使用过程中肯定也有所帮助的,并且在多种场合都能使用。
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