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发布时间:2022-03-20 03:25:21
真空泵油是一种专门为真空设备上的真空泵而研制的润滑油,分矿物油和合成油两种。适用于往复式增压泵、机械增压泵和油封机械真空泵等使用,亦可用于各种扩散真空泵等。推荐用于工艺品、陶瓷、化学等领域的真空泵使用那么真空泵油的作用是什么呢?又有什么用途呢?真空泵油厂家告诉您。
真空泵油的主要作用:在导热油泵使用的过程中,由于真空泵油直接进入泵体内腔,在真空泵运行时, 随着气体压强的逐渐降低,泵温的逐渐升高。油品中饱和蒸汽压高的分子组分就能蒸发到真空的空间,即影响真空泵极限压强的达到,又可向真空系统返流扩散,污染。
真空泵油的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶液造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
真空泵维修中漏油常见故障之一,主要发生在真空泵的油窗、油箱密封垫、电机轴承轴封三个位置上,其主要原因是真空泵使用时间过长而引起这些部位老化,密封失效,从而导致漏油。油窗漏油,是因为真空泵使用时间过长而使油窗老化,引起,或油窗与油箱的粘合剂老化失效,从而导致泵油渗出;电机轴上有前油封和后油封两个油封,任何一个老化失效都回引起漏油;
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